無接觸厚度TTV電阻率綜合測試系統(tǒng) 

 

產(chǎn)品簡介


   HS-T50無接觸厚度TTV電阻率綜合測試系統(tǒng)是一款廣泛應(yīng)用于太陽能電池片制造過程中對表面厚度TTV電阻率無損測量的專業(yè)儀器。該儀器適用于Si，GaAs，InP，Ge等幾乎所有的材料，所有的設(shè)計都符合ASTM(美國材料實驗協(xié)會)和Semi標(biāo)準(zhǔn)，確保與其他工藝儀器的兼容與統(tǒng)一。





產(chǎn)品特點


■ 無接觸無損傷測量


■ 適用的晶圓材料包括Si，GaAs，InP，Ge等幾乎所有的材料


■ 抗干擾強(qiáng)，穩(wěn)定性好                                       


■ 強(qiáng)大的工控機(jī)控制和大屏幕顯示


■ 一體化設(shè)計操作更方便，系統(tǒng)穩(wěn)定


■ 為晶圓硅片關(guān)鍵生產(chǎn)工藝提供精確的無接觸測量





 技術(shù)指標(biāo)


■ 測試尺寸：50mm-300mm.


■ 厚度測試范圍：1000 um，可擴(kuò)展到1700 um.


■ 測試精度：+/-0.25um


■ 電阻率測試范圍：0.1-50 ohm.cm


■ 測量精度：2%


■ 晶圓硅片類型：單晶或多晶硅[本信息來自于今日推薦網(wǎng)]