超精密加工 選購指南
超精密氣靜壓平面數控磨床
超精密氣靜壓平面數控磨床“ZCS-QPM250超精密氣靜壓三軸氣浮數控平面磨床” ,采用氣靜壓砂輪電主軸,X/Y二軸高精密氣浮導軌。臺達PLC、臺達伺服電機和驅動器組成伺服驅動系統。使整機達到平面度0.5um(100mm×100mm),表面粗糙度Ra0.1um的加工精度。具體參數如下: 超精密氣靜壓平面數控磨床ZCS-QPM250系列: 超精密氣靜壓平面數控磨床最大行程:250*500mm 超精密氣靜壓平面數控磨床最大磨削尺寸:260*580*380mm 伺服電機驅動X......
白光干涉儀測薄膜表面起伏
各種光學鏡片和玻璃等超精密加工產物,其表面質量等級非常高。如果采用接觸式的輪廓儀,會劃傷器件表面,而一般的非接觸式光學影像方法,也沒有辦法克服它的高透明度特性。用光學干涉原理研制成的中圖儀器的SuperView W1白光干涉儀,為玻璃和光學鏡片的表面質量提供了標準解決方案。 玻璃表面臺階檢測 透明玻璃表面鍍的一層金屬膜,因為其非透明特性,薄膜測厚儀沒有辦法測膜層厚度。況且膜層厚度的精度是在納米級別的,不管是非接觸式光學儀器還是接觸式臺階儀,都存在測量誤差,而中......